神州半导体请求根据频率簇的等离子体源操控办理体系专利保持母线电压安稳

  专利摘要显现，本发明公开了等离子体源技能领域内的一种根据频率簇的等离子体源的操控办理体系及办法。该操控办理体系的操控单元内置LSF负载阻抗猜测模型和频率簇调制模块，操控PWM驱动单元输出脉冲信号；保持电路用于进入恒功率阶段后保持母线电压安稳；采样单元收集谐振输出电压和电流；多传感器模块监测反响腔体的气体流量Q、压力P和温度T；LSF模型根据Q、P、T输出负载阻抗猜测值Z。

  天眼查资料显现，江苏神州半导体科技股份有限公司，成立于2016年，坐落扬州市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6600万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技股份有限公司共对外出资了3家企业，参加招投标项目33次，产业线条，此外企业还具有行政许可25个。

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